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001-4130-03 晶片对准器控制器模块
001-4130-03 晶片对准器控制器模块
BROOKS 001-4130-03模块是由BROOKS Automation制造的晶片对准器控制器。它是半导体制造中的一个关键部件,用于在各种加工步骤中精确对准硅片。
该模块确保晶片与卡盘、标线片和其他部件精确对准,实现电子电路的精确图案化和制造。
1:主要功能
BROOKS 001-4130-03模块提供了几个关键功能,使其成为半导体制造领域的宝贵工具:
高精度对准:该模块实现亚微米精度的高精度对准,确保晶圆的精确放置,以实现最佳电路制造。
先进控制算法:该模块利用先进的控制算法精确控制晶圆的移动,补偿环境因素并确保一致对准。
可重复性:该模块提供了一致和可重复的对准性能,确保在多个晶圆上进行可靠和均匀的电路图案化。
坚固耐用的设计:该模块在苛刻的半导体制造环境中具有耐用性和可靠性,可承受恶劣条件和连续操作。
2:技术规范
以下是BROOKS 001-4130-03模块的技术规格摘要:
对准精度:亚微米精度
控制算法:高级运动控制算法
可重复性:一致且可重复的对齐性能
环境耐受性:专为恶劣的半导体制造环境而设计
兼容性:与各种晶圆对准器系统兼容
3:应用
BROOKS 001-4130-03模块主要用于以下半导体制造工艺:
光刻:将晶圆对准光掩模进行曝光和图案转移。
蚀刻:将晶片对准掩模,以便在蚀刻过程中选择性去除材料。
沉积:将晶片对准掩模,以控制材料的沉积。
计量:将晶圆与测量工具对齐,以进行检查和质量控制。
注意:由于本司产品较多,图片未能一一对应,确认实物请与我联系!
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